高溫四探針測試儀的主要功能特點(diǎn)介紹
更新時(shí)間:2020-04-23 點(diǎn)擊次數(shù):734
高溫四探針測試儀采用由四端測量方法測試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗(yàn)箱為一體的的高溫測試系統(tǒng),滿足半導(dǎo)體及導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通以在高溫 、真空、氣氛的條件下測量導(dǎo)電材料電阻和電阻率,可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度、 時(shí)間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等樣品進(jìn)行測試。
高溫四探針測試儀廣泛用于碳系導(dǎo)電材料、 金屬系導(dǎo)電材料、 金屬氧化物系導(dǎo)電材料、結(jié) 構(gòu)型高分子導(dǎo)電材料、復(fù)合導(dǎo)電材料等材料的電阻率測量。 主要有生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù)。
1、采用雙電測組合測量模式,不用進(jìn)行系數(shù)修正;
2、可以測量高溫、真空、氣氛條件下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;
3、可以分析方塊電阻和電阻率隨溫度變化的曲線;
4、可以自動調(diào)節(jié)施加在樣品的測試電壓,以防樣品擊穿;
5、可以與美國keithley2400數(shù)字源表配套測量半導(dǎo)體材料;
6、可以通過USB傳輸數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)格式是Excel格式。